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/ 乾式渦卷幫浦 Scroll pump
乾式渦卷幫浦 Scroll pump
Description
特色
可以從大氣壓力下直接抽氣
可達到極低的真空度 1.0 Pa
低震動,低噪音
應用
各種分析設備
氣體回收裝置
鍍膜、淋膜設備
無油式真空系統的前級幫浦
Helium洩漏偵測器
半導體製程
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