乾式渦卷幫浦 Scroll pump

特色
  • 可以從大氣壓力下直接抽氣
  • 可達到極低的真空度 1.0 Pa
  • 低震動，低噪音
應用
  • 各種分析設備
  • 氣體回收裝置
  • 鍍膜、淋膜設備
  • 無油式真空系統的前級幫浦
  • Helium洩漏偵測器
  • 半導體製程

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