Vacuum_Scroll

乾式渦卷幫浦 Scroll pump

Description

特色

可以從大氣壓力下直接抽氣
可達到極低的真空度 1.0 Pa
低震動，低噪音

應用

各種分析設備
氣體回收裝置
鍍膜、淋膜設備
無油式真空系統的前級幫浦
Helium洩漏偵測器
半導體製程